洁净室动力照明电气系统：配电柜、电缆、桥架、洁净灯、光源、开关插座。
pcw及工艺动力系统：水泵、板式换热器、工业风机、空气压缩机、真空泵、空气处理设备、制氮机、纯水设备。
二次配系统：不锈钢管、塑料管、clean pvc管、特氟龙风管、压力表、流量计、不锈钢阀门、vmb阀箱。
自控系统：通讯线、组态软件、交换机、传感器、plc、激光打印机、监视站计算机。
无尘车间建筑要求
1、无尘车间的建筑平面和空间布局，应具有适当的灵活性。洁净区的主体结构不宜采用内墙承重。
2、无尘车间的高度以净高控制，净高应以100毫基本模数。
3、无尘车间主体结构的耐久性与室内装备和装修水平相协调，---设计公司， 并应具有防火、控制温度变形和不均匀沉陷性能（区应符合抗震设计规定）。厂房变形缝应避免穿过洁净区。
4、送、回风管和其他管线需暗敷时，温州---设计，应设置技术夹层、技术夹 道或地沟等；穿越---的竖向管线需暗敷时，宜设置技术竖井。
5、对兼有一般生产和洁净生产的综合性厂房，---设计造价，其方案设计和构造的处理，应避免在与物流运输以及防火方面对洁净生产带来不利影响。
无尘车间设计一、无尘车间设计的相关---
无尘车间设计必须贯彻执行的有关---，必须做到技术---、经济合理、安全适用、---、节约等要求。洁净厂房设计应为施工安装、测试、维护管理和安全运行创造---的条件，---设计施工，应符合现行的、规范的有关要求。
二、空气洁净度等级
无尘车间空气洁净度等级的检验，应以动态条件下测试的尘粒数为依据。洁净厂房空气洁净度的测试，应符合如下表规定：
注：对于空气洁净度为100级的洁净厂房内大于等于5微米尘粒的计算应进行多次采样。以---测试数值是---的。
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